Kuivamekaanisilla tyhjiöpumpuilla on laaja valikoima sovelluksia, pääasiassa seuraavilla alueilla:
Polypiin valmistusprosessissa matalapaineisissa kemiallisissa höyrypinnoitusjärjestelmissä (LPCVD);
Puolijohteiden etsausprosesseissa. Näihin valmistusprosesseihin liittyy usein syövyttävien kaasujen ja hankaavien hiukkasten käyttöä tai muodostumista;
Tietyissä hiukkasten -tuotantoprosesseissa-puolijohdeteollisuuden ulkopuolella-, joissa ei ole toivottavaa, että hiukkaset sekoittuvat pumppuöljyyn, ja sen sijaan on toivottavaa, että ne poistuvat pumpusta; tiettyjä kuivamekaanisia tyhjiöpumppuja voidaan käyttää näiden vaatimusten täyttämiseksi;
Tislaus-, kuivaus-, kaasunpoisto- ja pakkaustoiminnoissa kemian-, lääke- ja elintarviketeollisuudessa, joissa on tarpeen estää orgaanisten liuottimien aiheuttama saastuminen, kuivatyhjöpumput ovat sopiva valinta;
Esimerkiksi pumput (rouhintapumput) yleisissä öljyttömissä-puhdasta tyhjiöjärjestelmissä öljyn likaantumisen estämiseksi.
