Roottorijärjestelmä
Kuivan tyhjiöpumpun tehoydin on tarkasti sovitettu roottorikokoonpano, joka koostuu tyypillisesti kahdesta kolmesta kierteisen tai kynnen muotoisesta{0}}roottorista. Nämä erittäin -tarkat metalliroottorit lyövät toisiaan vastaan mikroni-tasolla ja käyttävät vasta-kiertoa kuljettaakseen kaasua tuloaukosta pakoputkea kohti. Roottoreiden ainutlaatuinen profiilirakenne-kuten evoluutio- tai ympyräkaareprofiilit-määrittää pumppaustehokkuuden. pyörimisnopeudet voivat olla 3 000–6 000 rpm, ja yksivaiheinen puristussuhde voi ylittää 10:1.
Tiivistysrakenne
Toisin kuin öljy{0}}tiivistetyt pumput, kuivapumput säilyttävät tyhjiön eheyden kolmikerroksisen-tiivistysmekanismin ansiosta:
Labyrinttitiivisteet: Roottorin päissä sijaitsevat monivaiheiset mutkikkaat kanavat käyttävät ilmavirran vastusta estääkseen vuodon.
Kaasusulku: Inerttiä kaasua ruiskutetaan kriittisiin välyksiin pneumaattisen paineesteen luomiseksi.
Erikoispinnoitteet: Roottorin pinnat on päällystetty materiaaleilla, kuten PEEK (polyeetterieetteriketoni), joka tarjoaa sekä kulutuskestävyyden että pienentyneen kitkakertoimen.
Nämä suunnitteluominaisuudet pitävät vuotonopeuden alle 0,5 Pa·m³/s ja täyttävät siten teollisuuden, kuten puolijohteiden valmistuksen, tiukat puhtausvaatimukset.
Jäähdytysmoduuli: "Lämpötilan valvoja" jatkuvaan käyttöön
Öljypohjaisen{0}}voitelun puuttumisen vuoksi kuivapumput vaativat älykkään lämmönhallintajärjestelmän:
Ilmajäähdytys: Alumiiniseoksesta valmistetut lämmönpoistorivat yhdessä keskipakotuulettimen kanssa haihduttavat jopa 60 % syntyneestä lämmöstä.
Vesijäähdytys: Sisäisen kupari{0}}putken vesikiertosilmukka tarjoaa lämmönvaihdon tehokkuuden, joka on kolme kertaa korkeampi kuin ilmajäähdytyksen.
Vaihe-Vaihda jäähdytys: Tietyt mallit käyttävät lämpöputkitekniikkaa, jonka lämmönjohtavuus on jopa 100 kertaa suurempi kuin puhtaalla kuparilla.
