Kuivatyhjiöpumput ovat pääasiassa seuraavanlaisia:
Twin{0}}lehtityyppi
Twin{0}}lobe-tyyppinen rakenne on hyvin samanlainen kuin Roots-pumppu, joka on tällä hetkellä suosituin ja laajimmin käytetty tyyppi. Itse asiassa eräät varhaisimmista kuivapumppumallien konsepteista sisälsivät useiden Roots-pumppujen pinoamisen yhteen. Tämä monivaiheinen rakenne johtaa melko monimutkaiseen kaasun virtausreittiin, ja jokainen vaihe vaatii huomattavan typpikaasuvirtauksen toimiakseen sekä laimentimena että esteenä. Lisäksi korkean tyhjiön saavuttamiseksi vaaditaan erittäin tiukat toleranssit vaiheiden välisissä välyksissä. Tietenkin, koska tämä rakenne lisää sisäistä puristussuhdetta, sen virrankulutus on suhteellisen alhainen.
Kolmi-keilatyyppi
Tri-keilatyypin toimintaperiaate on identtinen kaksois-keilatyypin kanssa; ainoa ero on, että yhden kierroksen aikana kaasu jaetaan kolmeen erilliseen pakettiin-kahden sijaan, kuten kaksoiskeilan suunnittelussa. Näin ollen näillä kahdella mallilla on samat edut ja haitat. Tehonkulutuksen vähentämiseksi edelleen jotkut valmistajat päättävät käyttää kahta tasavirtamoottoria käyttömekanismissa; Tämä lähestymistapa johtaa kuitenkin myös vääntömomentin ja pumpun uudelleenkäynnistyskapasiteetin vähenemiseen. Kuten kaksoiskeilan suunnittelussa, jokainen kolmikeilasuunnittelun vaihe vaatii huomattavan typpikaasuvirtauksen laimennus- ja eristystoimintojen suorittamiseksi.
Hybridityyppi (juuret + kynsi)
Hybridi (Roots + Claw) -rakenne hyödyntää Roots-vaihetta pumppauksen tehokkuuden parantamiseksi alhaisemmilla painetasoilla, kun taas Claw-vaihetta tehostetaan korkeammilla painetasoilla. Sen perustoimintaperiaatteet ja kaasun virtausreitti ovat identtiset edellä mainittujen keilatyyppisten mallien kanssa. Jotkut valmistajat kuitenkin päättävät korvata viimeisen vaiheen "tähti-tyyppisellä" mallilla. tämä konfiguraatio mahdollistaa kaasun jakamisen viiteen erilliseen pakettiin kiertoa kohden-paljon samalla tavalla kuin kolmilohkorakenne jakaa sen kolmeen osaan. Samoin monissa monimutkaisissa prosessisovelluksissa hybridisuunnittelun jokainen vaihe vaatii huomattavan typpikaasuvirran toimiakseen laimentimena ja esteenä.
Ulkoinen puristusruuvityyppi
Ulkoinen puristusruuvi-tyyppinen rakenne käyttää paria tasaetäisyydellä olevia ruuveja. Tämä konfiguraatio minimoi sisäisen puristuksen ja luo samalla lyhimmän ja yksinkertaisimman mahdollisen kaasun virtausreitin. Näin ollen kaasun viipymäaika pumppukammiossa pidetään absoluuttisena miniminä. Vaikka tämän rakenteen virrankulutus on suhteellisesti suurempi pienennetyn sisäisen puristussuhteensa vuoksi, se osoittaa poikkeuksellista vakautta ja luotettavuutta monissa monimutkaisissa puolijohteiden valmistusprosesseissa. Tämä yksivaiheinen-suunnittelu asettaa minimaaliset ja yksinkertaiset vaatimukset typenkulutukselle, mikä takaa erinomaisen vaihdettavuuden eri prosessien välillä. Monissa puhtaissa prosesseissa typen käytöstä voidaan jopa luopua kokonaan.
Sisäisesti puristavat ruuvipumput
Sen lisäksi, että käytetään paria ei--isoparametrista ruuvia, sisäisesti puristuvan ruuvipumpun perustoimintaperiaatteet ovat hyvin samankaltaisia kuin ulkoisesti puristuvan ruuvipumpun rakenteen. Ruuvien välisen tilavuuden jatkuva pienentäminen synnyttää sisäisen puristuksen. Helpottamalla tätä sisäistä puristusta tämä rakenne vähentää virrankulutusta tasolle, joka on verrattavissa monivaiheisten pumppujen -käyttöön. Kuitenkin monissa prosesseissa-kuten monivaiheisissa pumpuissa-tämä sisäinen puristus on erittäin herkkä indusoimaan fysikaalis-kemiallisia muutoksia pumpun rungossa olevassa kaasussa, mikä voi johtaa jähmettymiseen tai nesteytymiseen.
